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XYZ三軸手動落地型平台
X軸精密定位平台: Stroke250mm (手推滑台)
Y軸精密定位平台: Stroke250mm (手推滑台)
Z軸精密定位平台: Stroke50mm(手旋轉升降調整)
載物台圓形旋轉盤8吋、6吋晶圓盤
有效檢測範圍:250*250mm
00級花崗石底座、氣囊式制震腳座、鋼構底座
孔徑檢測AOI設備
功能: 異常數統計、毛邊檢測、直徑檢測、真圓度檢測、NG總覽
X軸最大行程: 500mm
X軸重現精度:+/-0.002mm
Y軸最大行程: 560mm
X軸重現精度:+/-0.002mm
有效檢測行程可擴充至18吋shower head
花崗石載台
XY軸同軸背光源滑台
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